Диапазон тока пучка
от 1 пА до 400 нA
Ускоряющее напряжение
Электроны 20 В - 30 кВ
Ионы - 0,1 пA - 65 нA
Ток зонда Ga+
от 0,6 пА до 65 нA
Ток зонда Xe+
от 1,5 пА до 1300 нA
Разрешение в электронах
0,6 нм при 30 кВ (STEM)*
0,6 нм от 15 кВ до 2 кВ
0,7 нм при 1 кВ
1,0 нм при 500 В (ICD)*
Максимальный вес образца
макс. 500 г (включая держатель)
Максимальный размер образца
150 мм при полном вращении (для образцов большего размера вращение ограничено)
Тип электронной колонны
Колонна Elstar с иммерсионной линзой сверхвысокого разрешения
Электронная оптика
Автоэмиссионная пушка Шоттки с монохроматором
