Системы микроанализа
Микроанализ - это совокупность различных методик анализа, которые позволяют работать с минимальными количествами исследуемого вещества. Для количественного определения элементов достаточно иметь образец в пределах нескольких десятых или целых мг, а при качественных оценках достаточно сотой и тысячной долей мг. Существует большое количество различных аналитических методов и оборудования, которое позволяют использовать разнообразные типы сигналов, генерируемых в образце при взаимодействии с электронным зондом. Такие методики позволяют получить информацию о структуре, фазовом и химическом составе образца.
Также используется и несколько видов микроанализа, например, рентгеноспектральный микроанализ. Он позволяет получать информацию об элементном составе вещества - о концентрации и пространственном распределении элементов. Метод основан на сравнении интенсивности рентгеновских линий, генерируемых образцом, и интенсивностей соответствующих линий в стандартном образце известного состава. С помощью данной методики можно исследовать состав образца на глубину около 1 мкм, а минимальные измеряемые концентрации элементов от бора до плутония составляют до 10 ppm в наиболее современном оборудовании. Для рентгеноспектрального анализа можно использовать как энергодисперсионный спектрометр (ЭДС), который сортирует фотоны по их энергии, так и волнодисперсионный спектрометр (ВДС), использующий принцип разделения рентгеновского излучения по длинам волн.
Также широко применяется метод дифракции обратно рассеянных электронов (EBSD). Он дает кристаллографическую информацию об образце, что необходимо при исследовании текстуры и фазового состава материалов.
Однако все эти методы не являются универсальными по отдельности, наилучшие результаты дают системы, комбинирующие преимущества каждого из методов. Использование комбинированных систем существенно повышает производительность и точность анализа и дает возможность избежать влияния недостатков при использовании единственного метода, например, перекрытий линий спектра.
