Энерго-дисперсионные (EDS)

Метод энерго-дисперсионного микроанализа очень удобен и прост в использовании, он дает возможность быстро определять качественный и количественный состав образца, одновременно строить карту распределения всех элементов в образце. В то же время метод обладает рядом недостатков, наиболее очевидными среди которых являются низкое спектральное разрешение и низкая чувствительность. Даже лучшие полупроводниковые детекторы не позволяют разрешать многие близкие спектральные линии, например: S Kα - Mo Lα - Pb Mα; Si Kα - W Mα − Ta Mα - Rb Lα; O Kα - V Lα. С помощью пучка электронов в электронных микроскопах или рентгеновских лучей в рентгеновских анализаторах атомы образца возбуждаются, что вызывает эмиссию характеристического излучения. Анализируя энергетический спектр эмитированного рентгеновского излучения, возникающего при взаимодействии электронного пучка и атомов объекта, с помощью детектора (кристаллы Si с примесями Li) электронного микроскопа, качественно или количественно изучают состав образца.