Диапазон тока пучка:
от 0,1 пА до 400 нA
Диапазон энергий у поверхности образца
от 20 эВ до 30 кэВ
Функция замедления пучка
от –4000 В до +600 В
Высокий вакуум с оптимальной рабочей дистанцией, иммерсионный режим
0,8 нм при 30 кВ (STEM)
0,9 нм при 15 кВ
1,0 нм при 1 кВ
1,2 нм при 500 В
2,5 нм при 100 В
Высокий вакуум с опти- мальной рабочей дис- танцией, режим без поля
0,8 нм при 30 кВ (STEM)
1,0 нм при 15 кВ
1,3 нм при 1 кВ
В режиме низкого вакуума, c оптимальной рабочей дистанцией, режим без поля
1,2 нм при 15 кВ
1,8 нм при 3 кВ
