Двулучевые
Двулучевые системы
Двулучевые (Focused ion beam / Scanning electron microscope) системы являются предпочтительным решением для:
- 3D-микроскопии и анализа,
- исследования рабочих материалов,
- анализа промышленных дефектов и приложений
- управления технологическими процессами.
Они предназначены для выполнения встроенной пробоподготовки и микроанализа с разрешением ниже 1 нм для полупроводников с высокой пропускной способностью и предприятий хранения данных, материаловедения и биологических лабораторий.
Двулучевые системы можно использовать как для анализа электроники, природных ресурсов, так и в области биологических наук.
В основе системы лежит уникальная технология, объединяющая травление сфокусированным ионным лучом и анализ при помощи сканирующего ионного микроскопа. Автоматическое последовательное травление, позволяющее получить серию двухмерных изображений, дает возможность создать объемную трехмерную модель. Используя полученные данные, можно изобразить структуру порового пространства и рассчитать размеры до микрона.
