Ионные

В современной технологии исследования и обработки материалов все большее внимание уделяется квантовым методам, предполагающим использование управляемых пучков частиц для модификации, резки или формирования поверхностей с заданным рельефом.

В настоящее время наибольшую популярность получили методы, основанные на использовании сфокусированных потоков ионов. Чаще всего для этой цели используются ионы галлия, которые, будучи сфокусированными в тонкий пучок, в ряде случаев позволяют, помимо модификации поверхности, еще и визуализировать наноразмерную морфологию даже лучше, чем традиционная электронная микроскопия. Совмещение в одном приборе как ионного, так и электронного источников делают этот прибор универсальным исследовательским и технологическим инструментом, хотя и имеющим намного более высокую стоимость, чем обычный растровый электронный или ионный микроскоп.

Таким образом, сфокусированные пучки ионов в настоящее время используются для:

• визуализации наноразмерных поверхностей
• ионной резки, с целью исследования внутренней структуры образца, исследовании внутренних дефектов
• высокоточная ионная обработка, включая ионную полировку, при изготовлении деталей микромеханизмов, оптики высших классов точности (точности долей длины волны), в микро- и наноэлектронике и др.
• для изготовления элементов различных прецизионных систем с заданной микро- и нанотопографией рельефа поверхности
• для пробоподготовки в просвечивающей электронной микроскопии атомарного разрешения