Система фокусированного пучка ионов V400ACE объединяет в себе последние разработки в проектировании ионной колонны, подачи газа и обнаружения конечной точки для обеспечения быстрого, эффективного, экономичного редактирования передовых интегральных схем. Редактирование схем позволяет производителям продуктов развести проводящие цепи и протестировать измененные схемы в течение считанных часов, а не недель или месяцев, которые потребуются для создания новых масок и обработки новых пластин.
Более редкие и короткие модификации и циклы испытаний позволяют производителям использовать новые процессы для получения большей выгоды, и быть первыми на рынке с лучшими ценами на новые продукты. Микроскоп V400ACE специально разработан для решения проблем передовых проектов и процессов: меньшие размеры, более высокая плотность микросхем, необычные материалы и сложные соединения структур. V400ACE может быть настроен на редактирование с тыльной стороны с помощью дополнительного инфракрасного микроскопа и комплекта для создания канавок в подложке из цельного кремния.
Ионная колонна Tomahawk.
Tomahawk обеспечивает непревзойденные универсальные возможности при бесперебойной работе 30 кВ до 2 кВ. Высокая плотность тока при травлении 30 кВ обеспечивает быстрое удаление материала и увеличение пропускной способности, в то время как работа при низком напряжении используется для селективного травления меди.
Система газоподачи NanoChemix.
Инструменты для редактирования схем с помощью сфокусированного ионного пучка используют управляемую подачу контролируемого количества специальных газов, которые вводятся вблизи пучка и поверхности образца для повышения скорости и селективности процесса травления и передачи проводящих и изолирующих материалов в точно контролируемые области поверхности образца. Инновационная система поставки газа увеличивает гибкость редактирования с регулировкой давления и использованием широкого спектра твердых, жидких или газообразных материалов-прекурсоров.
Детекторование по конечной точке.
Синхронное и автоматически масшабируемое снятие сигналов вторичных электронов и тока через образец обеспечивает надежное и точное определение «конечной точки», когда процедура травления достигает своей цели.
Основные характеристики:
- Быстрая и точная модификация схем позволяет проектировать изменения в течение нескольких часов без обработки нового кремния
- Система подачи газа NanoChemix обеспечивает повышенную скорость, гибкость, однородность и качество удаления материала и его осаждения
- Ионная колонна Tomahawk обеспечивает больший ток на меньшую площадь поверхность для более быстрого и точного травления
- Одновременное детектирование вторичных электронов и тока через образец улучшает обнаружение конечной точки
- Быстрое и точное кросс-секционирование обнаруживает дефекты и особенности, находящиеся под поверхностью образца
- Лучшая в своем классе система подготовки тонких образцов для 3D исследования и анализа
