Семейство микроскопов V600 включает в себя наиболее эффективные, гибкие и экономически выгодные приборы, доступные для полупроводниковых лабораторий, применяющиеся для внесения изменений в микросхемы. Они многофункциональны и позволяют быстро проводить анализ и модифицировать схемы с использованием только одной колонны - сфокусированного пучка ионов (ФИП), который эффективно обеспечивает высокую пропускную способность при модификациях схем, приготовлении поперечных срезов и анализе неисправностей.
Линейка микроскопов V600 содержит в себе улучшенное техническое и программное обеспечение для соответствия передовым требованиям модификации схем с размерами менее 65 нм, обеспечивая наиболее экономически эффективные решения для нынешних и будущих разработок.
Благодаря передовым характеристикам ионной колонны Sidewinder – напряжение 30 кВ, разрешение 5 нм, каждый микроскоп линейки V600 в высшей степени способен создавать изображения высокого разрешения, проводить травление и имеет быстрый доступ к структурам под поверхностью для широкого спектра материалов. Управление средней колонной для низковольтных операций минимизирует ущерб для ламелл при просвечивающей микроскопии, в то время как высоковольтные операции обеспечивают быстрое удаление материала и повышают пропускную способность.
Инструменты, представленные в семействе V600.
Микроскоп V600 с пятиосевой пьезоплатформой предлагает универсальные возможности наклона и кросс-секционирования для широкого спектра образцов - от отдельных частей до целых 200 мм пластин. Общепризнанная в индустрии операционная система, семейства Windows, имеет проверенные специальные XT-приложения для программного обеспечения, в том числе Frame-Jump навигацию для минимизации ущерба, наносимого образцам. С V600 у вас есть возможность редактировать схемы в течение нескольких часов, а не дней или недель, что позволяет значительно ускорить анализ и результативность работы в вашей лаборатории. Он также предлагает следующее поколение производственной гибкости и производительности, необходимое для эффективного приготовления срезов, работы с изображениями и подготовки образцов для просвечивающей электронной микроскопии (ПЭМ).
Прибор V600CE представляет систему доставки газа NanoChemix для получения дополнительных возможностей редактирования схем. Это универсальная система доставки газов, которая позволяет оператору микроскопа использовать переменное давление широкого спектра газов для высокоточного контроля процессов и их оптимизации. Возможность смешения газов через двойные, расположенные друг напротив друга сопла обеспечивает превосходное качество напыления диэлектрического материала для изоляции важнейших областей на схеме. Система подачи газа, использующая двойные выпускные отверстия, имеет неоценимое значение для поддержания идеально плоской поверхности и ее однородности при доступе к нижним слоям металла в устройстве. Система подачи газа NanoChemix реализует доставку следующих пяти газов для более продвинутых возможностей редактирования:
XeF2 - Травление диэлектриков (SiO2) и материалов с пониженной диэлектрической проницаемостью
H20 (O2) - Травление органических образцов и резка меди
Cl2- Травление алюминия и кремния
TMCTS – Нанесение изолирующего покрытия (SiO2) с O2
Гексокарбонил вольфрама - Нанесение вольфрама
V600CE комплектуется новейшим программным обеспечением, которое повышает точность редактирования схем и контроль конечной точки для улучшения показателей успешно отредактированных схем.
Вы можете расширить возможности микроскопа V600CE, используя ИК-микроскоп и комплект для создания канавок на подложке из цельного кремния. Микроскоп в ближней части инфракрасного спектра позволяет получать изображение целевой структуры через фронтальный диэлектрик и подложку из цельного кремния для быстрой и точной навигации. Оборудование для создания канавок в цельном кремнии включает в себя специальные коаксиальные сопла для подачи газа, которые ускоряют травление цельного кремния для более быстрого доступа к тыльной стороне схемы.
