Рентгено-флуоресцентный микроанализ (EDXRF-системы)
Метод рентгено-флуоресцентного микроанализа предназначен для проведения неразрушающего элементного анализа для широкого круга образцов с минимальной подготовкой проб для анализа, не требующий покрытия для снятия заряда. Низкий уровень шумов анализируемого спектра, обусловленный использованием рентгеновской трубки для первичного возбуждения образца, позволяет определять все элементы с содержанием от ppm до 100%. Диапазон определяемых элементов от Na до Bk в низком вакууме или на воздухе.
Наличие капиллярной оптики позволяет проводить элементный анализ на образцах малого размера, таких как частицы, отдельные детали и включения, или автоматический многоточечный анализ больших образцов с разрешением десятки/сотни микрон.
С проникающей способностью рентгеновских лучей и большим диаметром первичного пучка рентгено-флуоресцентный микроанализ более подходит для анализа образцов большего размера, чем энерго-дисперсионный микроанализ на растровых электронных микроскопах.
Рентгено-флуоресцентный микроанализ идеально подходит для таких приложений как судебная экспертиза, промышленный контроль качества и неразрушающий контроль различных материалов, электроники и анализ геологических образцов.