Комбинированные системы

Комбинированное использование различных методик позволяет проводить более точный и детальный анализ, расширяет возможности методов и снижает возможность ошибки. Методы прекрасно дополняют друг друга и позволяют проводить всестороннее исследование образов.

Совместное использование энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии (ЭДРС) и дифракции обратно-отраженных электронов (ДОЭ) позволяет увеличить возможности обеих методик. Они применяются, когда образец элементно или фазово не может быть различен только посредством ЭДРС, в силу схожести компонентов; и не может быть структурно решён только с помощью ДОЭ, по причине неоднозначности структурных решений. Использование ДОЭ с другими аналитическими методиками в РЭМ позволяют получить более глубокую информацию о свойствах исследуемого образца.

В противоположность методу энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии (ЭДРС) метод дисперсионной рентгеновской спектроскопии по длине волны имеет на порядок более высокую чувствительность и спектральную разделяющую способность. Преимущество ЭДРС проявляются в промере образца на всём рентгеновском спектре, следовательно, и одновременного анализа всех элементов, которые имеются в объекте.