Дифракция обратно-отраженных электронов (EBSD-системы)

Дифракция обратно-отраженных электронов (ДОЭ) используется для анализа текстуры или преимущественных ориентаций моно- или поликристаллического материала. Кроме того, данную методику можно использовать для исследования морфологии, дефектов, микродеформаций, изучения зерен и межзёренных границ, распределения фаз и картирования кристаллических ориентаций.

Эта методика реализуется на базе ПЭМ или растрового электронного микроскопа с ДОЭ-приставкой. ДОЭ является устоявшейся востребованной методикой и даже может быть использована для получения трехмерного изображения структуры объекта с помощью реконструкции из карт последовательных сечений.