Непрерывная плавная регулировка угла при резке в диапазоне
± 10°
Источник ионов TrueFocus сохраняет маленький диаметр своего луча в широком диапазоне рабочих энергий
100 эВ – 6 кэВ
Охлаждение предметного столика
жидкий азот
Работа в режиме низкой энергии
для полировки образца
Работа в режиме высокой энергии
для быстрого травления
Безмасляная вакуумная системаПростая настройка параметров резкиСтереомикроскоп для непосредственного наблюдения образцаДва независимо регулируемых ионных источника TrueFocus (патент рассматривается)Модульная конструкция для работы на основном приборе, а также для полностью автоматизированного управленияИндивидуальная и автоматическая система газового контроля источника ионов Качание или вращение образца с запрограммированными действиями ионного пучкаАвтоматическое завершение работыМикроскоп с большим увеличением и CCD-камерой