Беспрецедентно высокий ток ионного пучка в Quanta 3D FEG дает возможность быстрого удаления (травления) материала. Автоматизированная процедура приготовления срезов с помощью ФИП позволяет получать срезы высочайшего качества. Основными в данном микроскопе являются возможности качественного приготовления срезов и превосходная визуализация с помощью ФИП, широкий выбор состава газовой атмосферы для осаждения материалов и дальнейшего повышения скорости травления и селективности ФИП. Quanta 3D FEG предоставляет СЭМ изображение образца во время его травления, что делает микроскоп отличным выбором для быстрой пробоподготовки больших образцов из широкого спектра материалов. Опираясь на многолетний опыт компании FEI в двулучевой технологии, компания представляет вам Quanta 3D FEG – очень мощный и простой в управлении прибор для исследования всевозможных образцов. Мы поможем вам расширить границы своих исследований и получить больше данных из любого образца.

Основные преимущества

• Увеличение возможностей визуализации и анализа: сбор информации с поверхности и из объема
• Минимизация времени получения изображения и анализа: геометрия Quanta 3D FEG позволяет проводить ионное травление и электронную визуализацию в точке пересечения пучков
• Сведение к минимуму времени подготовки образцов
• Использование низкого вакуума и режима естественной среды позволяет получать изображения непроводящих и / или гидратированных образцов
• Увеличение пропускной способности
• Улучшенное приготовление срезов – без повторного осаждения (переосаждения) с помощью специальной газовой атмосферы
• Увеличение возможностей характеризации. Ультранизкий вакуум в камере образца (до 4000 Па) дает возможность снимать характеристики при разных уровнях влажности (до 100% относительной влажности), температуры (до 1500°C) в различном диапазоне давлений

Quanta 3D открывает новые возможности и эксплуатационную гибкость для инженеров и исследователей, испытывающих необходимость в получении характеристик материала, проведении анализа неисправностей или управлении процессами в промышленности или научной среде. Он сочетает в себе традиционную сканирующую электронную микроскопию (СЭМ) со сфокусированным ионным пучком в дополнение к существующим инструментам лабораторного исследования и расширяет диапазон приложений для 3D исследования, наноанализа, пробоподготовки для ПЭМ или структурной модификации поверхностей образцов в нанометровом масштабе. Quanta 3D отличается от обычных СЭМ возможностью интегрированного микро-секционирования, необходимой для изучения образца под поверхностью.

Quanta 3D разработана с учетом опыта компании FEI по производтву техники для систем ESEM и DualBeam. Система совмещает в себе эти две передовые технологии в сочетании с такими автоматизированными программами, как Slice и View для автоматической подготовки образцов для просвечивающей электронной микроскопии или  осаждения изоляторов или проводников. Специализированные конфигурации детекторов для визуализации образцов, приготовленных с помощью ФИП, делают Quanta 3D идеальным инструментом для 3D нанохарактеризации, 3D нанопрототипирования и in situ нанопроцессов.

Используя 3 режима визуализации - высокого вакуума, низкого вакуума и режим естественной среды, микроскоп может исследовать широкий спектр самых разнообразных образцов. Режим "нейтрализации заряда" встроен в ФИП для работы с непроводящими образцами.

Quanta 3D предоставляет Вам простой в использовании прибор для изучения и подготовки всех нужных образцов. Мы поможем вам получить больше данных из любого образца.

Основные преимущества

• Увеличение возможностей визуализации и анализа: сбор информации с поверхности и из объема и реконструкция изображения и аналитических данных в трех измерениях
• Увеличение пропускной способности и исследование больших площадей с помощью Quanta FIB высокого тока для быстрого удаления (стравливания) материала
• Расширение возможностей в области нанохарактеризации с использованием очистки (2 кВ) ПЭМ / атомного зонда / EBSD образцов; удаление аморфных областей без чистки аргоном
• Улучшение регистрации и нанопрототипирования непроводящих образцов в режиме "нейтрализации заряда"
• Увеличение пропускной способности для ваших образцов с автоматизированной системой изготовления срезов ФИП или подготовки ПЭМ образцов
• Возможность работы с широким спектром материалов, что обеспечивается наличием большого количества настроек детектора, гибкостью в настройке системы для образцов нестандартной формы или проведения передовых экспериментов
• Повышение гибкости в характеризации образцов в динамическом режиме окружающей среды; сохранение образцов во влажном состоянии или их нагрев для ESEM экспериментов

Некоторые типичные примеры применения:

• ПЭМ и EBSD пробоподготовка
• Пробоподготовка с атомным зондом
• Выявление внутренних причин поверхностных дефектов на готовых металлических поверхностях (например, окрашенных или оцинкованных поверхностях)
• Изучение 3D пористости и ее количественная характеризация
• Изготовление срезов для ex situ характеризации с помощью другого лабораторного оборудования
• Объемная реконструкция распределения карбидных включений в стали
• 3D-реконструкция трещин
• Характеристика напряжений в материалах с помощью исследования ортогональных срезов
• Биопсия микрообъемов образца
• Исследование процесса смачивания и измерения двугранного угла
• Редактирование электрических цепей
• Структурная модификация поверхности в нанометровом масштабе (нанопрототипирование)