Рентгеновский фотоэлектронный спектрометр  PHI VersaProbe III
Рентгеновский фотоэлектронный спектрометр PHI VersaProbe III РФЭС

PHI VersaProbe III – это передовой, фотоэлектронный микрозондовый спектрометр, третьего поколения. Прибор является мульти-функциональной системой в основе, которой используется запатентованный микрофокусный рентгеновский зонд и уникальная методика двойной нейтрализации поверхности твёрдого тела, что снимает любые ограничения связанные с зарядом исследуемой поверхности.

Информативность метода

  • идентификация всех химических элементов, кроме водорода и гелия,
  • полуколичественный анализ,
  • определение химического состояния элемента,
  • глубина анализа от 5 до 50 A,
  • чувствительность метода – 0,1-0,3 ат.%