Детекторы
Электронные микроскопы могут оснащаться различными детекторами для получения разнообразной информации об образцах. Совместное использование информации с различных детекторов расширяет возможности электронного микроскопа при решении исследовательских задач. Точность и чувствительность детекторов определяют качество работы прибора, именно, поэтому большинство детекторов имеют уникальную конструкцию.
Детектор SE
Стандартный детектор вторичных электронов (SE - secondary electrons) позволяет получать изображения с топографическим контрастом. Таким детектором с классической конструкцией по умолчанию оснащаются практически все электронные микроскопы. Дополнительно также может быть установлен детектор вторичных электронов, встроенный в объективную линзу - TLD (Through the Lens Detector), который позволяет получать изображения высокого качества как при низких ускоряющих напряжениях, так и при коротких фокусных расстояниях.
Детекторы BSE
Детекторы отраженных электронов (BSE - backscattered electrons) предназначены для получения изображения с информацией о вариациях состава на основе контраста по среднему атомному номеру. Большинство моделей электронных микроскопов поставляется с высокочувствительным детектором отраженных электронов на базе сцинтилляторного YAG кристалла. Такие детекторы обладают низким уровнем шума, не чувствительны к вторичным электронам и имеют высокое быстродействие. Для решения специализированных задач имеется возможность установки многосегментных детекторов отраженных электронов.
Детектор LVSD
Детектор LVSD (Low Vacuum Secondary Detector) – детектор вторичных электронов, специально разработанный для режима низкого вакуума. Он наиболее подходит для изучения топографии поверхности непроводящих образцов. Детектор LVSD оснащен собственным турбомолекулярным насосом для откачки объема детектора, что позволяет изучать топографию образцов без токопроводящего покрытия образцы в условиях низкого вакуума. Детектор также подходит для изучения поверхности пористых и влагосодержащих образцов.
Детектор катодолюминесценции
Детектор катодолюминесцентного излучения предназначен для поиска и определения параметров включений, дефектов и границ зерен в материалах различной природы. Световод в сочетании с зеркальной системой позволяет за короткое время получать изображения высокого качества. Детектор интегрирован в микроскоп и управляется через программную оболочку. Для стандартного спектрального диапазона возможна установка как отдельного детектора катодолюминесценции, так и детектора со сменным наконечником, совмещенного с детектором BSE.
Детектор прошедших электронов
Для исследования биологических объектов просвечивающая электронная микроскопия используется гораздо чаще, чем сканирующая. Поэтому разработаны специальные устройства, позволяющие получать изображения в проходящих электронах – TE детектор для исследования методом сканирующей просвечивающей электронной микроскопии. Детектор размещается на стандартном столике образцов микроскопа и позволяет получать изображения такие же, как на просвечивающем электронном микроскопе, но со всеми преимуществами сканирующего электронного микроскопа.
