PHI VersaProbe III – это передовой, фотоэлектронный микрозондовый спектрометр, третьего поколения. Прибор является мульти-функциональной системой в основе, которой используется запатентованный микрофокусный рентгеновский зонд и уникальная методика двойной нейтрализации поверхности твёрдого тела, что снимает любые ограничения связанные с зарядом исследуемой поверхности.

Информативность метода

• идентификация всех химических элементов, кроме водорода и гелия,
• полуколичественный анализ,
• определение химического состояния элемента,
• глубина анализа от 5 до 50 A,
• чувствительность метода – 0,1-0,3 ат.%