Сканирующий электронный Оже-спектрометр PHI 710 ‒ это единственное устройство электронной Оже-спектроскопии (AES) на рынке, которое специфицировано для пространственной разрешающей способности <8 нм. PHI 710. Оснащен боксом со звукоизолирующей оболочкой, которая позволяет проводить Оже-анализ с увеличением х 500 000 в условиях малого дрейфа, чего раньше нельзя было добиться. Это значит, что PHI 710 позволяет выполнять наноразмерный AES анализ образцов, который имеет небольшие функциональные возможности. Разрешение SEM ≤ 3 нм, разрешение AES ≤ 8 нм