Подсистемы

Подсистемы являются функциональными дополнениями к различными микроскопическим системам. Например, подсистема, использующая сфокусированный пучок ионов, обеспечивает возможность проведения универсальной структурной визуализации в нанометровом масштабе, а также травление и разрезание образцов. Такая подсистема идеально подходит для приложений, использующих сверхвысокий вакуум.

Сверхвысоковакуумная подсистема для сканирующего электронного микроскопа обеспечивает универсальную работу систем контроля отклонения луча и визуализации в нанометровом масштабе. Электронный пучок контролируется электростатическим отклонением, что подходит для работы с изображениями, оже-анализом, засветкой образца, а также рядом других приложений.

Все системы прекрасно совместимы с другим оборудованием.