Дни | Тема | План | Примечание | Время, мин |
1 | РЭМ | Знакомство с микроскопом | Устройство, принцип действия, презентация работ | 90 |
Включение, установка образца | Разные столики | |||
Пользовательский интерфейс: Программа xT microscoe Control | ||||
Перерыв | Чай, кофе | 30 | ||
Работа с эл. колонной, получение изображения | Базовые настройки, оптимизация изображения | 90 | ||
Работа на низких ускоряющих напряжениях | ||||
Обед | 60 | |||
Сохранение информации. Измерения и подписи. Встроенные программы коррекции изображения | 90 | |||
Меню предварительных установок | ||||
Пользовательские настройки микроскопа | ||||
Практика .Ответы на вопросы | Работа в высоком вакууме | |||
Перерыв | Чай, кофе | 30 | ||
Практика .Ответы на вопросы | Работа в высоком вакууме | 90 | ||
Выключение микроскопа | ||||
2 | ФИП | Знакомство с ионной колонной, презентация работ | 90 | |
Получение изображения в ионном пучке | ||||
ГИСы | ||||
Перерыв | Чай, кофе | 30 | ||
Напыление и травление по шаблону | 90 | |||
Изготовление поперечного среза | Проводники, диэлектрики | |||
Обед | 60 | |||
Практика .Ответы на вопросы | Работа с ФИП | 90 | ||
Перерыв | Чай, кофе | 30 | ||
Практика .Ответы на вопросы | Работа с ФИП | 90 | ||
Выключение микроскопа | ||||
3 | РЭМ | Работа в режиме низкого вакуума | Особенности получения изображения | 90 |
Режим естественной среды | ||||
Перерыв | Чай, кофе | 30 | ||
Практика .Ответы на вопросы | Работа в низком вакууме и режиме естественной среды | 90 | ||
Обед | 60 | |||
Зачёт по курсу | Тест по теории | 90 | ||
Тест по практике | ||||
Перерыв | Чай, кофе | 30 | ||
Смена катода | Демонстрация | 90 |