Манипуляторы
Манипуляторы открывают новые возможности для управления нанообъектами на высоком уровне точности в таких областях, как полупроводниковая промышленность, оптика, микромеханика, медицина, генная инженерия и биотехнология. Они предназначены для механического воздействия на образец непосредственно в камере микроскопа. С помощью манипуляторов можно перемещать отдельные части материала образца, осуществлять механическое воздействие или создавать электрический контакт в нужном месте образца.
Существуют различные модели манипуляторов, от миниатюрных, которые можно разместить на столике рядом с образцом, до манипуляторов с большим числом степеней свободы, устанавливаемых сверху камеры образцов. Все манипуляторы оснащены сверхточными автоматизированными системами управления с компьютера, что позволяет проводить контролируемое визуально перемещение образца.
Рабочая станция, оснащенная микроманипуляторами, предназначена для решения различных задач микроскопии от проведения электрофизических измерений полупроводниковых устройств и различных материалов до широкого спектра манипуляций с микрообъектами (перемещение и модификация).
Универсальная комбинация микроманипуляторов и зондов рабочей станции создает многофункциональное интегрированное решение для анализа неисправностей, низкотоковых измерений и научно-исследовательских применений, требующих высокой стабильности рабочей платформы. Система обеспечивает измерение объектов размером от нескольких нанометров и более. Отличается непревзойденной стабильностью, предельной точностью и гибким управлением, позволяющим Вам настроить прибор под любые специфические требования.
Микроманипуляторы работают с высоким разрешением (0,4 нм), продолжительной стабильностью по температуре (дрейф менее 2 нм/час при 20°C) и большим диапазоном перемещений (10 мм) по 3 координатным осям. Контроллер джойстикового типа управляет пьезоэлектрическим двигателем, обеспечивающим блокировку движения при отсутствии подачи на него питающего напряжения и, как следствие, сведение к нулю мертвого хода и дрейфа.
