Растровая электронная микроскопия
Растровый электронный микроскоп (РЭМ, англ. Scanning Electron Microscope, SEM) предназначен для получения изображений поверхности с высоким разрешением (около 1 нанометра), при этом глубина резкости значительно выше по сравнению со световыми микроскопами. С помощью различных дополнительного аналитического оборудования можно получать информацию об элементном и фазовом составе, кристаллической структуре, ориентации зерен и других свойствах поверхности (проведение химического анализа). Сегодня этот метод используется практически во всех областях науки и производства, от биологии до материаловедения. Кроме режимов высокого вакуума, существуют приборы, позволяющие производить съемку в низком вакууме, что необходимо для работы с непроводящими образцами.Некоторые приборы поддерживают режим естественной среды для съемки влажных, газящих и биологических объектов.
Главной задачей метода является получение изображений объекта с высоким разрешением. Использование различных детекторов сигнала и аналитических приставок позволяет делать выводы о морфологии и составе поверхности в микро- и наномасштабе (электронно-микроскопический анализ).
Применение:
- Получение изображений объектов с микро и нано разрешением
- Исследование морфологических особенностей поверхности (рельеф)
- Элементный и фазовый микроанализ поверхности
- Исследование морфологии поверхности с нанометровым разрешением
- Исследование приповерхностных слоев в поперечном сечении с субнанометровым разрешением
- Работа с образцами любых типов, в том числе биоматериалами в нативном состоянии
- Съемка со сшивкой до 10000 кадров (MAPS ) с больших площадей
- Элементный анализ поверхности образца в точке, по линии, по поверхности
- Построение 3D моделей и виртуальных сечений объектов с нанометровым разрешением
- Трехмерная реконструкция распределения элементного состава
- Визуализация и количественный анализ скрытых микродефектов, пор, включений
- Изготовление и исправление прототипов в области нанотехнологий и микроэлектроники
- Изготовление образцов для просвечивающей электронной микроскопии
