Цель работы.

Знакомство с принципом работы растрового электронного микроскопа. Юстировка микроскопа. Отработка первоначальных навыков по получению изображений объектов в различных режимах.

Аннотация.

Растровая электронная микроскопия – важный этап в исследовании материалов и разработке технологий различных отраслей науки и техники. Для получения высококачественных изображений в растровом электронном микроскопе необходимы знания устройства прибора, принципов формирования изображения в электронном микроскопе и принципов взаимодействия электронного зонда с различными материалами. Современный растровый электронный микроскоп, как правило, снабжен несколькими детекторами для решения специфических задач. Подпор параметров прибора необходим для получения качественных изображений при работе с различными материалами. Для получения более полной информации о исследуемом образце необходим химический анализ. В электронном микроскопе это реализуется, например, с помощью системы энергодисперсионного анализа. Применение такой системы дает возможность получать не только данные в выбранной точке, области, но и вдоль выбранной линии. Возможно получение карт распределения элементов (картирование).

В ходе работы предполагается освоение принципов работы растрового электронного микроскопа, юстировки и получения изображения различных образцов. Кроме этого предполагается освоение методики анализа элементного состава с помощью системы энергодисперсионного анализа.

Экспериментальная база.

Работа проводится на растровом электронном микроскопе Philips XL-30 c энергодисперсионным детектором EDAX. Подготовка непроводящих образцов осуществляется с помощью напылительной установки SPI.